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碳化硅晶圆专用砂轮 4英寸碳化硅晶圆磨削
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生产状态：现货
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#2000粗磨 | 库存：10000 | 订货编码：PT200004100020 | 在线询价 | -+ |
#8000精磨 | 库存：10000 | 订货编码：PT200004100021 | 在线询价 | -+ |
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产品应用： ●专为碳化硅（SiC）晶圆加工设计的精密砂轮。 ●用于SiC衬底的减薄（back thinning）和表面平整化（surface planarization）。 ●是制造SiC功率器件（如MOSFET、二极管）的关键工具。 |
产品特性： ●4英寸碳化硅晶圆磨削。 |
产品规格： 4英寸碳化硅（SiC）晶圆研磨测试报告 参数：#2000粗磨 ●砂轮转速：2000 rpm、工件转速：300 rpm、研磨量：50 μm、进给速度：1.5 μm/sec、研磨时间：120秒、砂轮磨损量：3 μm 参数：#8000精磨 ●砂轮转速：1500 rpm、工件转速：300 rpm、研磨量：10 μm、进给速度：0.35 μm/sec、研磨时间：260秒、砂轮磨损量：5 μm |
产品应用图：
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